7月16日，微导纳米发布官方消息，公司的首台半导体CVD薄膜沉积设备顺利发货。微导纳米的iTronix®系列CVD薄膜沉积设备，主要用于制备氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、非晶硅等不同种类薄膜，可应用于逻辑、存储、先进封装、显示器件以及化合物半导体等领域芯片制造。 CVD设备需求提升...  [详内文]