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CEA-Leti开发兼容CMOS的8英寸GaN-on-Si射频工艺

作者 |发布日期 2023 年 12 月 15 日 17:49 | 分类 射频
据报道,近日,CEA Tech下属研究所Leti已开发出一种与CMOS无尘室兼容的8英寸硅基氮化镓(GaN-on-Si)工艺技术,既能保持半导体材料的高性能,成本又低于现有的碳化硅基氮化镓(GaN-on-SiC)技术。 该研究所在IEDM 2023会议的一场演讲中表示,目前用于电...  [详内文]