近日，国产半导体薄膜沉积设备研发制造企业上海陛通半导体能源科技股份有限公司完成近5亿元新一轮融资，投资方包括君桐资本、金浦创新、上海科创集团、浙江发展资产、赛富管理、三元资本、力合资本、长江国弘等。本轮融资后，陛通半导体将持续加大技术和产品研发投入，推出更多国产高端薄膜沉积设备品...  [详内文]