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通用智能交付8英寸SiC晶锭激光剥离产线

作者 |发布日期 2023 年 12 月 18 日 17:45 | 分类 企业
12月16日,河南通用智能装备有限公司(以下简称通用智能)自主研发的8英寸碳化硅(SiC)晶锭剥离产线正式交付客户。 据通用智能介绍,由于SiC高硬度、高脆性特点,在SiC器件制造领域存在一个难点——晶锭分割工艺过程。目前,SiC晶锭主要通过砂浆线/金刚石线切割,效率低且损耗高。...  [详内文]