8月19日，国内半导体设备厂商芯碁微装宣布，公司旗下MLF系列设备首次出口至日本。 芯碁微装表示，公司MLF系列直写光刻设备专为高精度、高效能的泛半导体封装应用而设计，特别适用于功率半导体，如绝缘栅双极型晶体管（IGBT）的封装工艺。该设备配备先进的设备前端模块（EFEM），能够...  [详内文]