据捷佳伟创消息，近日，公司自主研制的碳化硅高温热处理工艺设备成功下线，试运行期间各项技术指标均满足客户需求，通过预验收后顺利发往国内半导体IDM某头部企业。 据悉，该设备主要用于制造碳化硅功率器件，能有效降低碳化硅晶体中的微观应力、消除组织缺陷和降低界面态密度、提高载流子迁移率以...  [详内文]