中导光电设备股份有限公司（下文简称“中导光电”）的纳米级图形晶圆缺陷光学检测设备（NanoPro-150）于近日再次交付客户。 据悉，前道图形晶圆检测设备是半导体芯片制造过程中的核心设备之一，技术门槛高，对提高产品良率、降低生产成本、推进工艺迭代起着重要作用。目前，虽然中国大陆已...  [详内文]