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采用AI、识别率达90%,创锐光谱SiC设备公司获新突破

作者 |发布日期 2023 年 12 月 12 日 17:42 | 分类 企业
12月12日,大连创锐光谱科技有限公司(下文简称“创锐光谱”)官微发文称,公司近日在碳化硅(SiC)衬底晶圆位错缺陷的无损光学检测技术方面取得突破性进展,并将同步推出SiC衬底晶圆位错无损检测专用设备:SIC-SUB-9900。 据介绍,该设备基于瞬态激发和散射光谱原理,采用大面...  [详内文]