近日，上海优睿谱半导体设备有限公司（下文简称“优睿谱”）成功交付客户一款晶圆边缘检测设备SICE200，设备可用于硅基以及化合物半导体衬底及外延晶圆的边缘缺陷检测。 source：优睿谱 据介绍，优睿谱本次推出的SICE200设备可兼容6&8英寸碳化硅&硅衬底和...  [详内文]