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全球首创!我国九峰山实验室在氮化镓材料新突破

作者 |发布日期 2025 年 03 月 24 日 14:17 | 分类 企业 , 氮化镓GaN
据九峰山实验室3月22日消息,九峰山实验室的科研团队在全球首创性地实现了8英寸硅基氮极性氮化镓(N-polar GaNOI)高电子迁移率材料的制备,这一成果不仅标志着我国在半导体材料领域的重大进步,更为未来诸多前沿技术的发展奠定了坚实基础。 1、技术突破:氮极性氮化镓材料的制备 ...  [详内文]

九峰山实验室6英寸SiC中试线全面通线

作者 |发布日期 2023 年 08 月 10 日 17:22 | 分类 功率
近日,九峰山实验室6英寸碳化硅(SiC)中试线全面通线,首批沟槽型MOSFET器件晶圆下线。实验室已具备碳化硅外延、工艺流程、测试等全流程技术服务能力。 实验室开发了低表面粗糙度、高激活率的高温高能离子注入与激活工艺,实现了低沟槽表面粗糙度刻蚀,打通了高厚度一致性及均一性、低界面...  [详内文]