近日,九峰山实验室6英寸碳化硅(SiC)中试线全面通线,首批沟槽型MOSFET器件晶圆下线。实验室已具备碳化硅外延、工艺流程、测试等全流程技术服务能力。
实验室开发了低表面粗糙度、高激活率的高温高能离子注入与激活工艺,实现了低沟槽表面粗糙度刻蚀,打通了高厚度一致性及均一性、低界面...  [详内文]
九峰山实验室6英寸SiC中试线全面通线 |
作者 huang, Mia|发布日期 2023 年 08 月 10 日 17:22 | 分类 功率 |