1月9日，据中国电科48所官微消息，中国电科48所立式氧化炉近日完成批量交付。 source：中国电科48所 据介绍，立式氧化炉是6-8英寸碳化硅功率器件及硅基集成电路制造关键工艺设备，主要用于高温氧化及退火工艺。 据悉，氧化退火对于碳化硅功率器件制造至关重要。首先，氧化退火处...  [详内文]