碳化硅(SiC)作为第三代半导体的代表之一,具有宽禁带、高导热率和高电子迁移率等特性,依托于自身优良物理属性,SiC功率半导体器件装车表现优异,广受市场欢迎。
但其作为一种高硬度脆性材料,在衬底加工环节存在着不小的挑战。随着SiC在国内引发热潮,下游市场需求增长带动相关设备出货大...  [详内文]
3家SiC衬底加工设备厂商有新动态 |
作者 huang, Mia|发布日期 2023 年 12 月 06 日 17:47 | 分类 企业 |