5月16日,据日媒导报,住友重工子公司—住友重工离子技术公司最早将于2025年在市场上推出用于碳化硅(SiC)功率半导体的离子注入机。
source:住友重工离子技术公司
报介绍,离子注入设备将磷、硼等杂质离子注入晶圆中,以改变其电特性。对于硅晶片,在离子注入后进行热处理以恢复...  [详内文]
住友重工离子技术公司明年将推出SiC离子注入设备 |
作者 huang, Mia|发布日期 2024 年 05 月 16 日 17:55 | 分类 企业 |