今日,盛美上海宣布首次获得Ultra C SiC 碳化硅衬底清洗设备的采购订单。
该平台还可配置盛美上海自主研发的空间交变相位移(SAPS)清洗技术,在不损伤器件的前提下实现更全面的清洗。该订单来自中国领先的碳化硅衬底制造商,预计将在2023年第三季度末发货。
盛美上海的该Ult...  [详内文]
盛美上海获SiC大订单 |
作者 huang, Mia|发布日期 2023 年 03 月 28 日 17:14 | 分类 碳化硅SiC |