今年以来,国内碳化硅相关厂商拓荆科技、盛美上海、新洁能、北方华创、扬杰科技等相继成立了多家新公司。而在近期,又有2家碳化硅相关厂商中车时代半导体、江丰电子分别成立了新公司。
其中,时代电气旗下中车时代半导体于9月26日全资成立了合肥中车时代半导体有限公司,该公司法定代表人为罗海辉,注册资本3.1亿元,经营范围含半导体分立器件制造、半导体分立器件销售等。
目前,时代电气碳化硅产品已完成第4代沟槽栅芯片开发,碳化硅产线改造完成,新能源车用碳化硅产品处于持续验证阶段。
在碳化硅芯片技术方面,时代电气突破了高可靠性低界面缺陷栅氧氮化、低损伤高深宽比沟槽刻蚀、亚微米精细光刻、高温离子选区注入、高温激活退火等关键工艺技术。
同时,时代电气攻克了有源区栅氧电场屏蔽、JFET区掺杂、载流子扩展以及高可靠性、高效率空间电场调制场环终端设计等功率芯片结构设计技术。
此外,时代电气掌握了具有核心自主知识产权的MOSFET芯片及SBD芯片的设计与制造技术,构建了全套特色先进碳化硅工艺技术的6英寸专业碳化硅芯片制造平台,全电压等级MOSFET及SBD芯片产品可应用于新能源汽车、轨道交通、光伏、工业传动等多个领域。
江丰电子则于9月19日全资成立了宁波江丰同创电子材料有限公司,该公司法定代表人为姚力军,注册资本5000万元,经营范围含电子专用材料研发;电子专用材料制造;电子专用材料销售;显示器件制造;电子元器件制造;电力电子元器件销售;光伏设备及元器件制造;光伏设备及元器件销售;电子专用设备销售;电子专用设备制造等。
江丰电子主要专注于超高纯金属溅射靶材、半导体精密零部件的研发、生产和销售,其中,超高纯溅射靶材包括铝靶、钛靶、钽靶、铜靶以及各种超高纯金属合金靶材等,这些产品主要应用于超大规模集成电路芯片、平板显示器的物理气相沉积(PVD)工艺,用于制备电子薄膜材料。
半导体精密零部件包括金属、陶瓷、树脂等多种材料经复杂工艺加工而成的精密零部件,主要用于半导体芯片以及平板显示器生产线的机台,覆盖了包括PVD、CVD、刻蚀、离子注入以及产业机器人等应用领域。
目前,江丰电子已经在化合物半导体材料领域取得一定进展,其控股子公司宁波江丰同芯已搭建完成国内首条具备世界先进水平、自主化设计的化合物半导体功率器件模组核心材料制造生产线,掌握了覆铜陶瓷基板DBC及AMB生产工艺,主要产品高端覆铜陶瓷基板已初步获得市场认可。其控股子公司晶丰芯驰正在全面布局碳化硅外延领域,碳化硅外延片产品已经得到多家客户认可。(集邦化合物半导体Zac整理)
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