近日，上海微芸半导体科技有限公司（以下简称：微芸半导体）完成数千万元A轮融资，本轮融资由诺延资本领投，临芯资本跟投，融资资金将用于技术研发、设备及原材料采购、核心团队的搭建等。
据悉，微芸半导体成立于2021年7月，是一家半导体设备制造商。公司专注于6英寸、8英寸的半导体刻蚀设备制造，主营半导体等离子设备的研发、生产及销售，产品广泛应用于化合物半导体、MEMS、功率器件等领域。
近年来，化合物半导体领域发展迅速，多家企业获得融资。而在设备端，除了上述的微芸半导体外，邑文科技、晟光硅研、思锐智能等也在近几个月相继获得融资。
其中，思锐智能于2022年11月完成新一轮战略融资。该公司成立于2018年，是一家面向“半导体装备”和“新型显示”等关键核心技术的智能科技公司，主营业务包括原子层沉积镀膜（ALD）设备、薄膜电致发光显示屏（EL）两大板块。
邑文科技专注于半导体前道工艺设备的研发、制造，主要产品为刻蚀工艺设备和薄膜沉积工艺设备。该公司于2022年12月份发生工商变更，新增比亚迪等新股东，注册资本变更为1947.6655万元。
晟光硅研在2023年1月份完成数千万人民币Pre-A轮融资，资金主要用于加大研发投入，定型滚圆、划片等国产化设备，优化切片技术等。（化合物半导体市场 Winter整理）
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