澳大利亚BluGlass与爱思强合作,整合并评估RPCVD技术

作者 | 发布日期 2019 年 01 月 03 日 14:12 | 分类 产业

据外媒报道,澳大利亚BluGlass公司正在与德国的沉积设备制造商Aixtron (爱思强)合作,以评估BluGlass的RPCVD(远程等离子体化学气相沉积)技术。

BluGlass选择了Aixtron的系统,将RPCVD扩展到批量生产的能力,首次集成将在BluGlass的悉尼Silverwater工厂进行。据悉,BluGlass的RPCVD技术可实现III-V氮化物材料的低温沉积,从而有可能提高器件的性能。

BluGlass的总经理Giles Bourne表示,“我们非常高兴获得爱思强对我们这一重大扩展项目的支持”,“这是展示RPCVD批量生产可行性的重要一步”。

爱思强集团创新官Ken Teo博士说,“在爱思强,我们一直在努力将新技术引入我们的平台”,“我们希望探索RPCVD技术在氮化物层低温沉积方面的潜力,这可能为光电/电子设备开辟新的可能性;我们期待与BluGlass合作,整合RPCVD并评估该技术。”(编译:LEDinside James)

 

更多LED相关资讯,请点击LED网或关注微信公众账号(cnledw2013)。