7月11日,半导体离子注入解决方案供应商Axcelis Technologies,Inc.(以下简称“Axcelis”)宣布,其向全球领先的碳化硅(SiC)功率器件芯片制造商批量出货Purion Power系列?离子注入机系统。
Axcelis表示,这些出货均在第二季度交付,其中...  [详内文]
Axcelis:向SiC企业批量出货Purion Power系列离子注入机 |
作者 huang, Mia | 发布日期: 2023 年 07 月 14 日 17:14 | | 分类: 碳化硅SiC |