近日，长三角一体化示范区（浙江嘉善）嘉芯半导体设备科技有限公司发生工商变更，新增股东比亚迪股份有限公司、深圳市创启开盈创业投资合伙企业（有限合伙）；公司注册资本从3.71亿元增加到4.12亿元。
2021年，以宁波芯恩为主体携手掌握离子注入机技术的万业企业，成立嘉芯半导体，万业和宁波芯恩的持股比重分别为80%和20%。嘉芯半导体聚焦半导体核心设备赛道，覆盖包括刻蚀、薄膜沉积、快速热处理及退火、清洗设备等设备环节。
据悉，宁波芯恩成立于 2017 年，法定代表人为中芯国际创始人张汝京。
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据嘉芯半导体董事长兼CEO周伟芳介绍，嘉芯半导体投资兴建的109亩产业园区仅用8个月时间便完成了新建厂房的封顶，预计即将完成全部的竣工验收，下半年开始搬入，未来将成为华东地区最大的集成电路前道设备研发制造基地之一。
项目总投资20亿元，规划面积达109亩，拥有14万方厂房面积，覆盖刻蚀机、薄膜沉积、快速热处理及褪火等多款集成电路核心前道设备，未来将形成种类齐全的设备基地。
目前，嘉芯半导体累计订单已突破4.6亿元。其中包括氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机等在内的刻蚀设备，高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD）、二氧化硅等离子薄膜沉积设备（PECVD）、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）、钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）、铝铜金属溅射设备（PVD）等在内的薄膜沉积设备，以及快速热处理（RTP）、双燃烧+双水洗尾气处理等多个品类。（文：集邦化合物半导体 Amber整理）
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