6月27日,晶盛机电宣布,已成功研发出8英寸碳化硅外延设备。
据晶盛机电介绍,目前,在子公司晶瑞的8英寸衬底基础上,已实现8英寸单片式碳化硅外延生长设备的自主研发与调试,外延的厚度均匀性1.5%以内、掺杂均匀性4%以内。
Part 1 碳化硅厂商下一个“黄金赛道”
近年来,在新能源汽车、5G通讯、光伏、储能等产业持续推动下,碳化硅市场规模迅速提升。
从尺寸而言,当前碳化硅市场仍以6英寸为主,但凭借面积和成本优势,8英寸碳化硅成为了国内外厂商争夺市场的下一个赛道。
就成本优势而言,据wolfspeed统计,未来通过产量的提升,规模效益的提升,以及自动化效益的提升,8英寸相对6英寸成本会降低63%。
面积优势方面,与6英寸相比,8英寸的面积增加了78%左右,由于边缘损耗减少,同等条件下从8英寸衬底切出的芯片数会提升将近90%。
据TrendForce集邦咨询此前的调研显示,若达到成熟阶段,8英寸单片的售价约为6英寸的1.5倍,且8英寸能够生产的晶粒数约为6英寸SiC晶圆的1.8倍,晶圆利用率显著提高。
集邦咨询数据显示,目前8英寸的产品市占率不到2%,并预测2026年市场份额才会成长到15%左右。
图片来源:拍信网正版图库
Part 2 国产厂商马不停蹄下场竞赛
当前,无论是6英寸还是8英寸,全球碳化硅市场主要被意法半导体、Wolfspeed、罗姆、英飞凌以及Coherent等国外厂商所占据。但近年来,在国产厂商的持续追赶下,已经逐步缩小了与国际巨头的差距。
据不完全统计,目前国内从事8英寸碳化硅产业研发的企业和机构近10余家,除了晶盛机电外,还包括天岳先进、天科合达、烁科晶体、合盛硅业、晶升股份、南砂晶圆、芯粤能、乾晶半导体、科友半导体、同光股份、中科院物理所、山东大学等。
其中,天科合达、烁科晶体、合盛硅业的8英寸碳化硅产品已成功研发,并分别进入小批量供货、小批量生产和销售、以及量产阶段;芯粤能碳化硅晶圆芯片生产线也已进入量产阶段,其中包括建设24万片8英寸碳化硅晶圆生产线。
晶升股份在6月中旬在投资者互动平台上表示,公司已开始8英寸碳化硅长晶设备的批量生产。此外,盛美上海、北方华创等国内半导体设备厂商还推出了可同时兼容6英寸和8英寸的碳化硅设备。
值得一提的是,除了供货国内市场之外,国内厂商也开始将“朋友圈”拓展至国外,纷纷与国际大厂展开合作。
例如,天岳先进、天科合达已与英飞凌签约,合作制备8英寸衬底;三安光电则与意法半导体结盟共建8英寸碳化硅外延、芯片合资代工厂;此外,中电化合物近日也与韩国Power Master签订了8英寸碳化硅材料长期供应协议。(来源:全球半导体观察 刘静)
更多SiC和GaN的市场资讯,请关注微信公众账号:集邦化合物半导体。