近日，国产化合物半导体设备产业传来两个好消息：北京烁科中科信宣布特种离子注入机顺利交付，粤升半导体宣布成功研发SiC外延设备。
北京烁科中科信
今日，北京烁科中科信宣布不特种离子注入机顺利交付。就在4月，公司宣布北京总公司和长沙分公司实现12台离子注入机先后顺利交付，同比增长300%。一季度新签合同再创新高，合同总额突破3.5亿元，同比增长21%。
日前，烁科中科信大基金二期入股了烁科中科信，持股比例为8%。当前，烁科中科信已获得大基金二期、中信建投资本、博时资本、中芯聚源等知名投资机构的投资。
在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。
根据离子束电流和束流能量范围，离子注入机可分为三大类：中低束流离子注入机、低能大束流离 子注入机、高能离子注入机。另外还有用于注入氧的氧注入机，或者注入氢的氢离子注入机等。
离子注入机是芯片制造中的关键装备。
图片来源：拍信网正版图库
粤升半导体
昨日，广州粤升半导体设备有限公司宣布其自主研发的4/6吋SiC外延设备，已无故障连续稳定运行近300小时，生长的4/6吋SiC外延片质量均达到国际先进水平，满足MOSFET和SBD器件的制备要求。
粤升半导体成立于2021年，专注于SiC外延设备、单晶设备的研发和生产。（文：集邦化合物半导体 Arely整理）
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