近日，北京烁科中科信宣布北京总公司和长沙分公司实现12台离子注入机先后顺利交付，同比增长300%。一季度新签合同再创新高，合同总额突破3.5亿元，同比增长21%。
值得注意的是，日前，大基金二期入股了烁科中科信，持股比例为8%。当前，烁科中科信已获得大基金二期、中信建投资本、博时资本、中芯聚源等知名投资机构的投资。
碳化硅在制程上，大部分设备与传统硅生产线相同，但由于碳化硅具有硬度高等特性，需要一些特殊的生产设备，如高温离子注入机、碳膜溅射仪、量产型高温退火炉等，其中是否具备高温离子注入机是衡量碳化硅生产线的一个重要标准。
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离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。
烁科中科信成立于2019年，公司源于中国电科第48研究所，是国内较早专注于集成电路领域离子注入机业务的高端装备供应商。
20世纪60年代开始研究离子注入机，先后承担了90—65nm中束流和45—22nm大束流等重大项目的攻关任务，目前已拥有中束流离子注入机、低能大束流离子注入机、高能离子注入机和定制离子注入机四种产品，构建了较为系统的集成电路离子注入机谱系。（文：集邦化合物半导体 Arely整理）
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