据报道,科友第三代半导体产学研聚集区项目一期目前周产碳化硅衬底2至3千片以上,预计年底将生产4至5万片。
科友半导体副总经理段树国表示,目前生产车间里已经安装完100台长晶炉,后续还要安装100台。预计全部达产后可形成年产10万片6英寸碳化硅衬底的生产能力。
项目是由哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司(简称科友半导体)与哈尔滨新区共同投资10亿元建设,将打造包括技术开发、装备设计等在内的全产业链的科技成果转化及产业化应用研究集聚区,并以哈尔滨为总部,打造国家级第三代半导体装备与材料创新中心。
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科友半导体成立于2018年,是一家专注于第三代半导体装备研发、衬底制造、器件设计、技术转移和科研成果转化的国家级高新技术企业。
目前,科友半导体研制的碳化硅感应长晶炉已实现99%的部件国产化替代,电阻式长晶炉也具备投产条件。在碳化硅晶体生长方面,科友半导体在6英寸碳化硅单晶厚度上突破40毫米,达到国内领先。
科友半导体大尺寸碳化硅衬底材料广泛应用在5G通讯、新能源汽车、芯片制造、照明光源等领域。按照企业发展规划,未来两年科友半导体将实现年产20~30万片碳化硅衬底的产能。(文:集邦化合物半导体 Cecilia整理)
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