近日,SiC外延生长CVD设备供应商纳设智能成功研制出更大尺寸具有更多创新技术的8英寸碳化硅外延设备,此设备具备独特反应腔室设计、可独立控制的多区进气方式、以及智能的控制系统,将更好的提高外延片的均匀性,降低外延缺陷及生产中的耗材成本。
sourse:纳设智能
目前,6英寸碳化...  [详内文]
瞄准8英寸SiC外延!这家设备厂再获突破 |
作者 huang, Mia | 发布日期: 2023 年 08 月 30 日 18:35 | | 分类: 企业 |