11月20日，据中导光电官微消息，中导光电近日成功获得国内功率半导体头部客户的8英寸碳化硅（SiC）晶圆缺陷检测设备订单。
source：中导光电
据悉，中导光电NanoPro-1XX设备可以为碳化硅芯片制备产线提供全工艺过程缺陷检测。
据介绍，相较于6英寸碳化硅晶圆，8英寸碳化硅晶圆的尺寸增大，对制造和检测过程中的精度与工艺要求更高。中导光电投入大量资源研发，力求在晶圆表面纳米级缺陷检测方面达到更高的精确度和更复杂的工艺水平。
官网资料显示，中导光电创立于2006年11月，是一家国内平板显示面板和半导体晶圆检测设备专业企业，其集成电路检测设备产品覆盖“无图形”和“有图形”晶圆检测应用领域，检测灵敏度达纳米级，已成功进入客户产线。
在碳化硅设备领域，11月18日，广州粤升半导体设备有限公司（下文简称：广州粤升）宣布，其已在今年9月实现碳化硅外延设备的大批量出货。
广州粤升表示，此批设备在第一代外延炉基础上做了进一步优化设计，具备生产高质量、高稳定性的外延片生产能力。（集邦化合物半导体Zac整理）
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