近日，碳化硅设备细分领域融资风云再起，国内又有一家碳化硅晶圆检测设备企业完成新一轮融资。
11月4日，据“张通社”消息，睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称：睿励科学仪器）近日宣布完成近5亿元战略融资，本轮融资由金石投资和招商致远联合领投，河南资产、金信资本、鼎青投资等跟投，融资资金主要用于进一步提升先进半导体制程用的光学量检测设备的国产替代能力，丰富产品种类，加大市场开拓力度能力。
官网资料显示，睿励科学仪器是于2005年创建的合资公司，致力于研发、生产和销售具有自主知识产权的集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备。
睿励科学仪器业务涵盖碳化硅晶圆缺陷检测
据悉，睿励科学仪器主要聚焦于薄膜测量和尺寸光学检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等。目前，睿励科学仪器相关设备已成功进入三星和长江存储生产线，新研制的缺陷检测设备也已进入下游客户厂家。
在光学膜厚量测设备方面，睿励科学仪器相关产品适用于硅/碳化硅/氮化镓等集成电路制造前后道生产线、3D NAND制造生产线、DRAM制造生产线，可量测介质材料、半导体硅化物材料、超薄金属材料半导体薄膜的厚度、折射率和吸收系数，也可测量晶圆衬底应力。
在光学缺陷检测设备领域，睿励自主研发制造的WSD系列产品，是面向集成电路芯片前道工艺以及泛半导体前道工艺（碳化硅、OLED、Micro LED等）的高精度光学晶圆外观缺陷检测设备，最高检测精度可达到100nm，兼容4-12英寸wafer，支持明场和暗场检测。
从融资情况来看，自2005年成立以来，睿励科学仪器已相继完成11轮融资，其中包括5轮单笔融资金额在1亿元及以上的战略融资。
碳化硅量检测设备企业频传融资喜讯
作为一家碳化硅设备相关厂商，睿励科学仪器本次完成5亿元战略融资，与正在高速发展的碳化硅产业密切相关。在碳化硅产业增资扩产浪潮下，相关设备需求水涨船高，带动企业频频获得资本加持。
据集邦化合物半导体不完全统计，2024年以来，已有谦视智能、盖泽科技、优睿谱、驿天诺、矽视科技、国科测试6家碳化硅量检测设备相关厂商完成新一轮融资。
其中，谦视智能成立于2017年，专注于实现高端半导体量检测设备的国产化，核心产品主要包括形貌检测设备、碳化硅微管及位错检测设备、综合缺陷检测设备、膜厚及纳微结构测量仪等，业务覆盖碳化硅基、砷化镓基、硅基等多种应用领域。
盖泽科技已完成12英寸大尺寸晶圆的Online晶圆量测技术，覆盖FTIR膜厚量测技术、元素浓度计量技术等，可应用于硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、磷化铟等材料晶圆的量检需求，目前已向多家央企、国企、上市晶圆公司等知名半导体企业交付，并用于碳化硅、硅晶圆外延层的批量量测中。
随着国内半导体行业的快速发展，对前道量测设备的需求量持续走高，优睿谱顺势进行了一系列产品布局。在碳化硅产业日益火热的趋势下，为满足市场需求，优睿谱近两年推出的设备产品基本都适用于碳化硅领域，因此也得到了一部分订单。
驿天诺专注于硅光&第三代半导体封测设备，是国内较早开发硅光和第三代半导体自动化封测装备的公司。驿天诺推出的产品之中，WAT高功率晶圆测试系统适用于碳化硅/氮化镓高功率晶圆测试。
矽视科技成立于2021年6月，专注于半导体晶圆电子束量检测设备的研发、生产和服务，目前，矽视科技产品主要有两种，分别为CDSEM关键尺寸量测设备、EBI电子束缺陷检测设备。其中，CDSEM关键尺寸量测设备可以覆盖28纳米以上成熟工艺，满足6/8/12英寸硅基、碳化硅、氮化镓、蓝宝石等基片的量测需求。
在第三代半导体领域，国科测试攻克了光学及电学测试方面多项技术，实现了多项关键测试设备的国产化替代及产业化。
TrendForce集邦咨询最新《2024全球SiC Power Device市场分析报告》显示，碳化硅在汽车、可再生能源等功率密度和效率极其重要的应用市场中呈现加速渗透之势，未来几年整体市场需求将维持增长态势，预估2028年全球碳化硅功率器件市场规模有望达到91.7亿美金（约655亿人民币）。
在碳化硅市场快速增长趋势下，包括碳化硅设备企业在内的产业链上下游厂商有望传出更多融资进展。（文：集邦化合物半导体Zac）
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