科友半导体实现8英寸高品质碳化硅衬底批量制备

作者 | 发布日期 2024 年 09 月 30 日 18:00 | 分类 企业

9月30日,据科友半导体官微消息,科友半导体在今年9月成功实现8英寸高品质碳化硅衬底的批量制备,通过优化电阻炉温场、引入缓冲层优化长晶工艺、优化原料区域温度分布,发挥了电阻加热式PVT法碳化硅单晶稳定生长的优势。

科友半导体8英寸碳化硅

source:科友半导体

检测表明,科友半导体8英寸碳化硅衬底产品总腐蚀坑密度控制在2000个cm-2左右,TSD与BPD位错缺陷密度得到有效降低,占同期产出衬底的比例在八成以上。

官微资料显示,科友半导体成立于2018年5月,是一家专注于第三代半导体装备研发、衬底制作、器件设计、科研成果转化的厂商,研发覆盖半导体装备研制、长晶工艺、衬底加工等多个领域,形成自主知识产权,已累计授权专利80余项,实现先进技术自主可控。

今年以来,科友半导体在技术研发和产业化等方面都取得了新进展。

技术研发方面,科友半导体在今年3月27日与俄罗斯N公司在哈尔滨签署战略合作协议,开展“八英寸碳化硅完美籽晶”项目合作。

据介绍,通过与俄罗斯N公司的合作,科友半导体将研发获得“无微管,低位错”完美籽晶,应用品质优异的籽晶进行晶体生长,会进一步大幅降低八英寸碳化硅晶体内部的微管、位错等缺陷密度,从而提高晶体生长的质量和良率,并推动碳化硅长晶炉体及工艺技术的优化与升级。

随后在5月29日,科友半导体自主研发的电阻长晶炉再次实现突破,成功制备出多颗中心厚度超过80mm,薄点厚度超过60mm的导电型6英寸碳化硅单晶,据称这是国内首次报道和展示厚度超过60mm的碳化硅原生锭毛坯,厚度是业内主流晶体厚度的3倍,单片成本较原来降低70%。此批次晶体呈现出微凸的形貌,表面光滑无明显缺陷。

市场拓展方面,今年3月,科友半导体在成功拿下超2亿元的出口欧洲长订单之后,顺利通过“国际汽车特别工作组质量管理体系”(IATF16949)认证,获得进军国内新能源汽车芯片衬底百亿级规模市场“通行证”。截至2023年12月底,科友半导体实现销售定单逾6亿元人民币。(集邦化合物半导体Zac整理)

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