近日，在碳化硅设备领域，国内两家企业取得了新进展——中国电科48所8英寸碳化硅外延设备再升级，三义激光首批碳化硅激光设备正式交付。
关键突破！中国电科48所8英寸碳化硅外延设备再升级
近日，中国电科48所自主研发的8英寸碳化硅外延设备关键技术再获突破。
据中国电科官方消息，碳化硅外延炉是第三代半导体碳化硅器件制造的核心装备之一。此次“全新升级”的8英寸碳化硅外延设备，具备更快、更好、更稳定的特点，通过改进激光视觉定位、晶圆自纠偏等技术，设备自动化性能更加成熟，提升产品生产效率。设备还成功引入新的掺杂技术，进一步提升产品良率，持续降低生产成本。
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三义激光：首批碳化硅激光设备正式交付
9月5日，三义激光在官微透露，他们自主研发、生产的首批6&8英寸碳化硅激光滚圆设备顺利完成生产并正式交付客户，标志着公司在高端激光加工设备领域取得了重要进展。
据悉，三义激光碳化硅激光设备能利用高能激光束进行精准加工，提高生产效率，降低损耗，提升产品良率，为碳化硅的精细加工提供了高效、精准的解决方案，并具激光非接触式加工、7×24小时无间断工作、设备运行无需耗材等优势。（来源：全球半导体观察）
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