中宜创芯年产1000吨碳化硅粉体项目(一期)环评获批

作者 | 发布日期 2024 年 08 月 20 日 18:00 | 分类 企业

近日据平顶山市生态环境局官网消息,平顶山市生态环境局拟对河南中宜创芯发展有限公司(以下简称:中宜创芯)年产1000吨电子级高级碳化硅粉体项目(一期)环境影响报告书进行批准。

碳化硅项目环评公示

据悉,项目总投资6亿元,本次仅针对一期工程,主要建设年产500吨电子级高纯碳化硅粉体生产线(生产区包含混料间、粉料合成间、纯化间、原材料库、成品库等,办公区包含会议室、办公室等)、公用和环保配套设施设备等。

该项目采用改进自蔓延高温合成法(SHS)制备碳化硅粉体工艺(原料按一定化学计量比通过多向运动混合机将原料Si粉和C粉混合均匀,并装入石墨坩埚中;然后将石墨坩埚放入原料合成炉,关炉,待真空抽至0.0001Pa以下后,充入氩气等至所需压强;接着按一定升温速率进行升温至所需温度进行高温合成,待一段时间后,降温停炉。出炉后的碳化硅为块状,利用晶体一体机进行破碎、研磨和筛分,破碎、研磨用来消除结块和晶须,筛分使得粒径分级,之后进入纯化炉进行焙烧,除去未反应的碳和浮灰,冷却后包装、标记、入库),设备均采用相符原料合成炉,所用原料Si粉和C粉纯度均为6N以上,在高温下持续反应,最后得到高纯碳化硅粉体。

作为该项目主导方,中宜创芯成立于2023年5月24日,由中国平煤神马控股集团和平顶山发展投资控股集团共同出资设立。

项目方面,中宜创芯正在分期建设年产2000吨碳化硅半导体粉体生产线,总投资20亿元。其中,项目一期总投资6亿元,年产能500吨,占地12000平方米,于2023年6月20日开工建设,9月20日项目建成并试生产,9月30日首批产品出炉。

随后在今年5月,中宜创芯碳化硅半导体粉体500吨生产线成功达产,产品纯度最高达到99.99999%,已在国内多家企业和研究机构开展试用和验证。

技术方面,作为一家碳化硅半导体粉体研发、生产和销售企业,中宜创芯拥有先进的粉体合成炉和自动化无污染破碎技术,其产品具有单炉产能大、颗粒度大、纯度高、阿尔法含量高和游离碳低等优点,更适合8英寸碳化硅厚单晶的生长。(集邦化合物半导体Zac整理)

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