镓仁半导体制备出3英寸晶圆级(010)氧化镓单晶衬底

作者 | 发布日期 2024 年 07 月 16 日 16:53 | 分类 企业

7月15日,据镓仁半导体官微消息,镓仁半导体于今年7月成功制备出3英寸晶圆级(010)氧化镓单晶衬底,据称为目前国际上已报导的最大尺寸。

source:镓仁半导体

据镓仁半导体介绍,在氧化镓单晶衬底常见的主流晶面中,(010)衬底在物理特性和外延方面具有出色的表现。首先,(010)衬底热导率最高,有利于提升功率器件性能;第二,(010)衬底具有较快的外延生长速率;第三,基于(010)衬底制备的器件具有更优异的性能。

资料显示,镓仁半导体成立于2022年9月,是一家专注于氧化镓等超宽禁带半导体单晶衬底及外延材料研发、生产和销售的厂商。镓仁半导体开创了非导模法氧化镓单晶生长新技术,突破了国际市场对氧化镓材料的垄断,可提供具有完全自主知识产权的氧化镓单晶衬底材料。

技术进展方面,此前,镓仁半导体联合浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院、硅及先进半导体材料全国重点实验室,采用杨德仁院士团队自主开创的铸造法成功制备了高质量6英寸非故意掺杂及导电型氧化镓(β-Ga2O3)单晶衬底。

2024年4月,镓仁半导体推出了新产品2英寸晶圆级(010)氧化镓半绝缘单晶衬底,并实现了2英寸(010)氧化镓单晶衬底的自主量产,打破了国际垄断。

融资方面,今年4月,镓仁半导体宣布完成数千万元天使轮融资,本轮融资由蓝驰创投领投,禹泉资本、毅岭资本跟投,融资资金将用于强化团队、加速氧化镓衬底材料新方法及中试线研发。(集邦化合物半导体Zac整理)

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