4月17日，半导体离子注入厂商Axcelis宣布向全球领先的碳化硅（SiC）功率器件芯片制造商交付多批Purion Power系统离子注入器系统。这些设备包括Purion H200 SiC大电流、Purion XE SiC高能和Purion M SiC中电流注入机，且均在第一季度发货。这些6英寸（150mm）和8英寸（200mm）设备将用于支持汽车、工业、能源和其他电力密集型应用的功率器件的大批量生产。
source：Axcelis
Axcelis总裁兼首席执行官Russell Low评论道：“我们将不断获取新客户，并扩大我们在全球现有客户的足迹。Purion Power 系列因其高度差异化的特性和工艺控制能力成为功率器件应用的市场领导者。Axcelis是唯一一家能够为所有功率器件应用提供完整配方覆盖的离子注入公司。”
值得一提的是，算上本次，在一个月不到的时间里，Axcelis已完成三起SiC设备订单的出货，客户包括中国、日本等地的功率器件制造商。
得益于技术优势，SiC设备拉动Axcelis营收。2023年，SiC设备业务营收占Axcelis总营收的34%，成为其业绩重要组成部分和增长动力。（集邦化合物半导体Morty整理）
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