1月7日，据诺延资本官微消息，上海微芸半导体科技有限公司（以下简称“微芸科技”）近期成功获得国内某碳化硅代工厂批量订单。诺延资本指出，这标志着微芸科技研发生产的碳化硅刻蚀设备在均匀性和一致性方面已经基本满足客户量产的需求。
据介绍，微芸科技于2021年成立，是一家专注于第三代化合物半导体的半导体设备制造商。2023年2月，微芸科技完成数千万元A轮融资，由诺延资本领投，临芯资本跟投。
微芸科技仅用两年时间就完成了ICP和CCP刻蚀设备的研发，并且获得了重复订单。目前公司在硅、碳化硅、二氧化硅、氮化硅、砷化镓、磷化铟等多种材料的刻蚀上都有比较成熟的整套工艺和设备方案。并预计将在2024年第一季度完成针对氮化镓材料的原子层刻蚀设备研发。
ICP等离子刻蚀设备（source:微芸科技）
来源：据诺延资、集邦化合物半导体整理
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