中导光电设备股份有限公司（下文简称“中导光电”）的纳米级图形晶圆缺陷光学检测设备（NanoPro-150）于近日再次交付客户。
据悉，前道图形晶圆检测设备是半导体芯片制造过程中的核心设备之一，技术门槛高，对提高产品良率、降低生产成本、推进工艺迭代起着重要作用。目前，虽然中国大陆已经成为全球最大的前道量检测市场，国内厂商市场份额占比仍然较小。
此次交付用户的NanoPro-150产品灵敏度系纳米级序列，充分满足半导体芯片90nm及以上产线制造工艺需求。该型号首台设备于去年首次交付给国内知名功率半导体企业使用，如今再次迎来订单，表明了市场对该设备有着很高的认可度。
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NanoPro-150是NanoPro-1XX系列中的高端产品，除与国际顶尖公司同类产品在灵敏度、检出速度等主要性能参数相近外，还开发和引入了许多先进的AI算法和软件，进一步提高了信噪比，显著提升了设备在关键制程的缺陷检测灵敏度和检出率。
此外，该设备还可兼容两种不同的晶圆尺寸，如8英寸与12英寸、6英寸与8英寸、5英寸与6英寸等，拓展了设备使用范围。
同时，该产品实现了精密光机电关键核心部件的国产化和自主可控，为产品的量产和稳产提供了保障。
中导光电是国内半导体及泛半导体前道图形缺陷检测设备的领军企业。中导光电于成立以来的16年内，在平板显示（FPD）等工业领域，销售各种亚微米（≥0.5μm）“有图形”检测设备近300台。
公司目前进入销售和量产的NanoPro-1XX系列产品和MDI亚微米检测设备，加上NanoPro-2XX和NanoPro-3XX将先后进入市场，有望打破国内企业重度依赖国外检测设备的局面。（化合物半导体市场Morty整理）
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