晶驰机电碳化硅外延设备相关项目投产

作者 | 发布日期 2024 年 11 月 27 日 17:58 | 分类 功率

据平湖新埭官微消息,11月26日上午,晶驰机电半导体材料装备研发生产项目投产仪式在浙江嘉兴市新埭镇举行。

据悉,该项目由晶驰机电(嘉兴)有限公司作为实施主体。公司成立于2023年,主要从事碳化硅、金刚石、氮化铝等第三代、第四代半导体设备的研发、生产和销售。公司分别与浙江大学杭州国际创新中心、杭州电子科技大学共建联合实验室。

source:平湖新埭

目前公司产品包括6英寸水平进气和8英寸垂直进气碳化硅外延设备(LPCVD法),金刚石晶体生长设备(MPCVD法),氮化铝晶体生长设备,碳化硅源粉合成炉,碳化硅晶体生长设备(PVT法),氧化镓单晶生长炉(导模法、CZ法),各种晶体和晶片热处理炉。达产后预计实现年产值1.4亿元。

值的一提的是,晶驰机电在河北石家庄也有一个半导体材料装备研发生产项目,并于今年11月2日投产。

资料显示,晶驰机电河北石家庄项目总投资2亿元,占地约50.26亩,总建筑面积约20000平方米,项目分两期建设,一期建设计划时间为2025年—2026年。项目以金刚石设备与碳化硅外延设备为产品核心,专注于第三代和第四代半导体材料装备的研发、生产。(集邦化合物半导体整理)

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