10月9日,中国电科第四十八研究所(下文简称“中电科48所”)官方公众号发文称,在连续数月实现月产20台套产能验证后,制造部汲取批产经验,及时调整装调节奏、优化生产管理,顺利完成20台套SiC外延设备的产出及发货。
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图片来源:拍信网正版图库
据早先消息,在6英寸SiC外延机型方面,中电科48所收获了国内第三代半导体装备行业的第一大订单。该所研发的芯片制造关键装备SiC高温离子注入机已实现100%国产化,稳居国内市场占有率第一。
今年6月,2023上海国际半导体展览会上,中电科48所携自主研发用于生产SiC外延片的国产8英寸SiC外延设备亮相,标志着国产第三代半导体专用核心装备迈进“8英寸时代”。
(文:集邦化合物半导体Morty整理)
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