近日，2家国际碳化硅（SiC）设备公司——Aehr和Axcelis于同一天宣布公司获得了新订单。
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Aehr的FOX-NP SiC MOSFET多晶圆测试和老化系统获美企订单
4月2日，全球半导体测试和老化设备供应商Aehr Test Systems宣布，公司已收到客户的初步订单，订购一套FOX-NP晶圆级测试和老化系统、多台WaferPak接触器和一台FOX WaferPak对准器，这些设备将用于SiC器件的工程设计、认证和小批量生产晶圆级测试和老化。
Aehr透露，客户是一家年收入数十亿美元的全球半导体公司，业务遍及欧洲、亚洲和美洲，服务于汽车、工业、移动和消费应用等多个行业。FOX-NP系统，包括FOX WaferPak对准器和初始版的WaferPaks，这些设备计划在未来几个月内发货。
Aehr总裁兼首席执行官Gayn Erickson评论道：“我们非常高兴这位新客户选择我们的FOX-P解决方案来设计、鉴定和生产他们的SiC功率器件。该客户已与Aehr技术解决方案团队展开长期合作，对Aehr帮助他们实现这些目标的能力感到安心。客户选择我们的FOX解决方案的一个关键特点是，它能够经济高效地实现其目标的老化和稳定要求，包括100%的可追溯性，并证实晶圆上的每个器件都在所需的测试时间内被老化。”
Aehr介绍，FOX-NP系统配置了新的双极性电压通道模块（BVCM）和甚高压通道模块（VHVCM）选项，使用Aehr专有的WaferPak全晶圆接触器为SiC功率半导体提供新的高级测试和老化功能。
FOX-XP和FOX-NP系统提供多个WaferPak接触器（全晶圆测试）或多个DiePakTM载体（单芯片/模块测试）配置，能够对SiC和GaN功率半导体、硅光子学以及其他光学器件、2D和3D传感器、闪存等器件进行功能测试和老化/循环。磁传感器、微控制器和其他尖端IC采用晶圆外形尺寸，然后再组装成单芯片或多芯片堆叠封装，或采用单芯片或模块外形尺寸。
图片来源：拍信网正版图库
Axcelis的Purion EXE SiC系列设备出货日本
4月2日，半导体行业离子注入解决方案的供应商Axcelis Technologies宣布，公司的Purion EXE SiC高能注入机完成出货，并且已交付给日本领先功率器件芯片制造商的Purion H200高电流注入机成功完成评估。
据介绍，这些设备将用于6英寸（150mm）和8英寸（200mm）SiC功率器件的生产，支持汽车、工业、能源和其他电力密集型应用。
Axcelis营销和应用执行副总裁Greg Redinbo表示：“8英寸Purion H200 SiC设备成功完成评估，使其能够与日本一家领先的功率器件客户现有的8英寸Purion EXE SiC一起投入生产。日本新的6英寸客户追加订购了一台Purion EXE SiC，凸显了客户对先进SiC功率器件上更高能量离子注入配方的需求正在不断增长，而Purion Power系列设备则能提供解决方案。”
值得一提的是，3月20日，Axcelis的Purion M SiC中电流注入机已向中国多家先进的功率器件芯片制造商发货.这些设备于第一季度出货，将用于6英寸SiC功率器件的生产，支持汽车、工业、能源和其他电力密集型应用。（集邦化合物半导体Morty整理）
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